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 元器件产品 |
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精致系统元件
在半导体和液晶等尖端产业中，要求控制设备能在超纯净环境中使用。药液控制元件、工艺气体过程控制元件、高真空控制元件等，从芯片制造相关装置的供气系统到排气系统，为了无限地向客户保证高纯度和高精度，我们不断地向“超高水平工艺控制”进行挑战。 |
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集约式工艺气体供给系统(IGS) |
真空比例控制系统 |
药液阀 |
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流体控制元件
CKD技术领域的重要支柱之一，是能够对水、空气、煤气、蒸汽以及油等液体进行控制和灵活使用的单元和系统。不仅是各种阀和单元系统元件，还有绿化洒水系统和除尘器控制系统、煤气燃烧系统、各种清洗装置以及水处理系统等环境元件，我们能够从事研制的领域无限的宽广。高品质和丰富多彩样式，正是液体控制设备的理念。 |
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省力元件
以自动化开发和制造多年来的主题“更高精度、更快和更低成本”为基本，加上独自的观点和技术力制成了这种需求紧密型商品。回转工作台、直驱马达、移载工作单元等丰富多彩的产品，以最适合的形式满足控制性、输出性、刚性、高速性能及圆满性等各种条件。 |
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气动元件
以对应流量控制清洁化以及环保、节能等多种多样需求为背景，推出了丰富多彩的产品。在“F.R.L单元”和“空气干燥器”为主的清洁系统以及气动辅助元件的开发和制造方面，充分利用有关的丰富实际成绩和技术决窍，不断扩大系统外围设备。控制空气流动的电控比例减压阀、开放式串行对应阀等气动控制元件、能够低成本简单实现自动化的气缸及电动缸等驱动元件也不断得到充实。今后也将作为气动技术先驱者，不断向充分满足市场需求的产品开发挑战。
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气动三、五通阀 |
串行传输控制阀 |
净化室F.R |
F.R.L 元件 |
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流量传感器 |
数显电控比例减压阀 |
空气干燥器 |
精密元件 |
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